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SELPA

대면적 자동화 미립자 분석

산업 Application 의 다양한 입자 Size 측정은 매우 어렵고 힘든 과정이 될 수 있으며, 다양한 입자는 제품 프로세스의 중요한 요소 입니다.

SELPA 의 기술은, 실시간으로 선택된 입자의 크기와 분포를 측정할 수 있습니다.
분석결과의 재현성 을 모니터링 할 수 있는 프로세스의 가능성을 염두하고 개발되었습니다.

SELPA 는 청정도 및 미립자 분석을 위한 SEM 과 EDS 전용 소프트웨어가 합쳐진 통합 시스템 입니다.
최소 5um, 최대 42mm 크기의 오염물질을 실시간으로 분석합니다.
높은 신뢰성을 바탕으로 빠른 검사를 지원할 뿐만 아니라 검사결과 보고서까지 버튼 한 번으로 출력됩니다.

또한, 검출해야 하는 파티클의 패턴을 기록해 정기적인 검사를 실시하여 안정적인 결과물을 얻을 수 있으며,
한 번의 클릭으로 검출 범위를 초과하는 파티클을 검출하여 세부정보 확인할 수 있습니다.

* SELPA 세부정보 : 입자크기, 입자계수측정, 형태, 성분(화합물) 분석

SELPA (Scanning Electron Microscope for Particle Analysis)

SELPA는 일반 주사전자현미경(SEM) 제품을 기반으로 자동화 이미지 입자분석 장비로써, 산업 Application의 다양한 입자 사이즈를 측정 과 성분(비율), 분포도 등의 결과물을 분류해주는 Automated Image and Element 분석장비입니다.

  • 청정도검사 (Cleanliness)
  • 금속 개재물 검사 (Steel Inclusion)
  • 화약 잔유물 검사 (Gun Shot Reduce)
  • 광물, 석면 검사 (Mineral & Asbestos)
  • 미립자 검사 (Micro Dust)

대면적 분석소프트웨어

대면적 자동화 분석 (범위 : 100mm x 100mm)

자동화 분류 (사이즈/형태/성분)

자동 분석 시간

Particle Size : 50um 이상 은 자동분석에 약 30분 소요

Particle Size : 50um 이하 는 자동분석에 약 2시간 소요

Particle Size : 5um 이하 는 자동분석에 약 4시간 소요

* 멤브레인 필터 규격(45mm) 기준

입자분석방법

  • 시료채취 위치는 그 지역의 주위환경 및 조건을 고려하여 선정
  • 시료에 적합한 입자의 포집방법 및 멤브레인 선택
  • 포집된 샘플을 Non-Coating 으로 Chamber 내 스테이지에 고정
  • 측정조건을 입력한 뒤, SELPA 작동
  • 측정조건에 맞는 미세입자 분석 시작
  • 입자들의 형태, 성분, 크기, 개수등 대면적 분석 및 분류결과 도출
  • 시료채취
  • 필터로딩
  • 필터고정
  • SELPA 분석
  • 필터의 분석영역 지정
  • 분석결과 획득
  • 파티클 정밀분석

분석결과이미지

미립자 자동화 분석결과

자동차 엔진 미립자 분포도 검사결과

기타

Application of Cleanliness