SEM
MINI-SEM (Scanning Electron Microscope)
주사전자현미경은 표면형상 및 구조 분석에 필수적인 장비입니다.
- 재료 및 나노소자의 형상 및 형태 관찰
- 미세 Particle 및 오염물질의 위치추적 및 형상추적
- EDS를 이용한 물질 및 박막의 조성분석
산업구조 및 분석샘플의 특성에 따라 1 만배 이하의 영역에서도 충분한 결과물을 얻을 수 있는 고객이 있는 반면에
10만배 수준의 고 배율분석이 필요하기에 예산과 분석목적에 맞는 제품선정이 중요합니다.
주사전자현미경 제품별 특징
Mini-SEM
Normal-SEM 을 소형화한 제품으로 가격부담과 유지관리 비용을 최소화 할 수 있으며 5만배 이하의 장비운영에 적합.
Normal-SEM
여유로운 챔버 구성으로 샘플크기의 제약이 적으며 다양한 부속장치를 탑재가능, 약 8만배 이하의 샘플분석에 적합.
FE-SEM
초 고해상도 이미지 분석을 할 수 있는 고급형 제품으로 최상의 결과를 위해서는 부대시설 등이 필요. 약 30만배 까지 분석가능.
해상도 비교 (Sample : Gold particle, 10만배)
전자현미경 사양표
| SEM 구분 | Mini-SEM | Normal-SEM | ||
| MODEL | EM30 | EM30N | EM30C | CX200 PLUS |
|---|---|---|---|---|
| 이미지 |  |
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| 분해능 | 5nm | 5nm | 4nm | 3nm |
| 배율구성 | x15 ~ x100,000 | x20 ~ x150,000 | x15 ~ x150,000 | x15 ~ x300,000 |
| 가속전압 | 1kV ~ 30kV | 1kV ~ 30kV | 1kV ~ 30kV | 1kV ~ 30kV |
| 디텍터 | SEI (2차전자) | SE (2차전자) + BSE (후방산란전자) | SE (2차전자) + BSE (후방산란전자) | SE (2차전자) + BSE (후방산란전자) |
| 전자 총 | Tungsten(W) Filament | Tungsten(W) Filament | CeB6 Filament | Tungsten(W) Filament |
| 스테이지 구성 | X,Y(35㎜), Tilt(0˚~45˚) *3축 자동(Motor) Z(5~50㎜), R(360˚ - beam Rotation) |
X(60㎜), X(60㎜), R(360˚), Tilt (-20˚~90˚), Z (5~60㎜) * 5축 자동(Motor) |
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| 최대 시료크기 | 70(D) x 45(H) ㎜ | 160(D) x 60(H) ㎜ | ||
| 네비게이션 기능 | Holder Map(좌표위치) | Top-view CCD 카메라 | Top-view CCD 카메라 | Holder Map + 챔버측면 카메라 |
| 진공시스템 | 고 진공 | 고 진공 + 저진공(Non coating 분석가능) | 고 진공 *저지공(옵션) | |
| Dimension(㎜) | 400(W)x600(D)x550(H), 85kg | 400(W)x600(D)x550(H), 85kg | 400(W)x600(D)x550(H), 90kg | 640(W)x682(D)x1500(H), 150kg |
Software UI
사용자들에게 다양한 Auto 기능과 새로이 추가된 Keymap을 통해 직접 조작하는 번거로움을 줄인 누구나 사용할 수 있도록 구성되어 있습니다.
또한 파노라마샷 기능은 사용자가 원하는 영역의 이미지 부분을 수 십, 수 백장으로 자동 촬영할 수 있도록 지원하며 SE, BSE 모드를 함께 볼 수 있는 멀티 디스플레이 모드를 통해 더욱 효과적인 분석이 가능한 편의성을 제공합니다.
SE/BSE IMAGE
SE (Secondary Electron)-2차전자 – (기본장착)
요철에 의한 정보로 이미지 형성, 주로 표면형상 관찰로 전체적인 이미지 구성에 일반적으로 사용
BSE (Backscattered Electron)-후방산란(반사)전자 – (옵션)
시편을 이루고 있는 성분(원자번호)에 의해 이미지가 형성.
가벼운 원소는 어둡게, 무거운 원소는 밝게 명암 차이로 이미지 구현
SAMPLE IMAGE
