제품특징

반도체 및 대형샘플 검사용 현미경 MX63L(360x300mm용) / MX63(210x210mm용) / MX63(150x150mm용) 은 명시야, 암시야, 간이편광, 미분간섭, 형광, 적외선 및 자외선을 이용한 다양한 관찰법과 대형스테이지를 통하여 보다 편리하게 분석이 가능하며, 보다 선명한 이미지를 제공합니다.

12” 10” 8” Wafer 및 6인치 이상의 큰 샘플관찰도 쉽고 빠르게 분석 및 검사가 가능합니다. (OPTION: Wafer 이송장치인 AUTO LOADER 추가가능)

전동리볼버 (Motorized nosepiece)

MX63 Series에 Motorized nosepiece를 장착하여 보다 편리하고 빠르게 배율을 선택할 수 있습니다. (OPTION)

빠른 작업을 위한 직관적인 컨트롤

MX63L/MX63의 주요 컨트롤은 사용자의 손끝이 초점조절 손잡이 근처인 현미경의 전면부에 위치하게 된다는 것입니다.

렌즈, 조명 강도와 조리개 조절시에 초점조절 손잡이로부터 손을 뗀다거나 접안렌즈에서 눈을 멀리하는 일이 없습니다.

전면 패널

• 조명 조절 손잡이
• 전동리볼버 패드
• 조리개 조절

Observation Tube 각도조절이 가능한 사용편의성

Observation Tube 조절의 넓은 범위는 사용자가 앉아서 적절한 자세를 취하여 안정적이고 편안한 작업을 할 수 있습니다.

빠르고 편리한 스테이지 이동을 위한 클러치

MX63 Series의 수동 XY 스테이지는 내장된 클러치 메커니즘 및 XY 손잡이를 사용하여 조동과 미동 움직임의 조절이 됩니다.

클러치를 사용하여, 사용자는 검사를 하는 동안 스테이지를 자유롭게 이동할 수 있습니다.

뛰어난 이미지 선명도와 우수한 분해능

렌즈는 광학 현미경의 핵심 부품이며 샘플의 관찰과 분석을 위해 사용되어 집니다. OLYMPUS는 모든 관찰법에 적합한 범용적인 렌즈, Working Distance(샘플과의 거리)가 길거나 매우 긴 렌즈, 근적외선 렌즈, LCD 전용 검사용 렌즈 등 다양한 종류의 렌즈를 갖추고 있습니다.