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올림푸스
OLYMPUS의 새로운 BX53M 현미경은 명시야관찰법(BF), 암시야관찰법(DF), 일반편광관찰법(POL), 미분간섭관찰법(DIC), 형광관찰법(FL)의 다양한 관찰법으로 산업전반에 걸쳐 분석에 적합하게 적용이 가능하도록 다양한 어플리케이션을 제공하며, LED조명을 기본으로 우수한 색재현성으로 뛰어나 영상과 다양한 솔루션을 제공합니다.
BX53M은 샘플에 맞는 적합한 프레임, 렌즈, 광원, 스테이지, 필터등 다양한 구성으로 최적의 이미지를 구현할 수 있습니다.
암시야는 표본으로부터 분산되거나 회절된 빛을 관찰할 수 있습니다. 램프로부터 나온 빛은 조명기안에 있는 링 형태의 조명 광학을 통하여 표본에 도달하게 됩니다. 표본에서 나온 빛은 Z축을 따라 불완전하게 반사되게 됩니다. 사용자는 광학현미경에서 분해능의 제한값보다 작은 8nm 레벨까지의 미세한 스크래치나 흠집을 식별할 수 있습니다. 암시야는 웨이퍼를 포함하여 거울 표면 표본 위의 미세한 스크래치나 흠집의 발견에 이상적인 관찰법입니다
DIC 는 명시야에서 식별되지 않는 높이가 있는 샘플이나 향상된 명암으로 3차원 이미지를 얻기 위해 사용하는 미세한 관찰법입니다. 이 기술은 편광을 기본하여 특별히 제작된 3개의 프리즘의 선택으로 사용자의 요구에 따라 장착되어 질 수 있습니다. DIC는 금속 구조, 미네랄, 자기 헤드, 하드 디스크 미디어와 광택 웨이퍼 표면을 포함하여 매우 미세한 높이 차이와 표본 조사에 이상적입니다.
이 미세한 관찰 기술은 필터 (분석기와 편광)의 집합에 의해 생성된 편광을 활용합니다. 샘플의 특성은 직접적으로 시스템을 통해 반사된 빛의 강도에 영향을 줍니다. 편광은 금속 구조 (즉, 구상 주철에서 흑연의 성장 패턴), 미네랄, 그리고 LCD와 반도체 재료에 적합합니다.
이 기술은 사용자의 어플리케이션에 맞도록 특별히 제작된 필터 모듈과 조명으로( 다른 파장의 빛을 방출 ) 형광 표본에 사용됩니다. 형광관찰은 형광염료를 사용하여 균열된 부분을 찾거나 photo-resist 잔여물이나 웨이퍼의 오염물질의 검사에 적합합니다. OLYMPUS의 높은 출력을 가진 Xenon 과 Mercury 램프 하우스를 사용하여 형광 관찰을 할 수 있습니다. Apochromatic 램프 하우스 컬렉터 렌즈 시스템은 chromatic aberrations 를 보완하기 위해 가시광선부터 근적외선까지 추가될 수 있습니다.
IR 관찰은 비파괴하여 실리콘이나 유리등의 전자 기기의 내부구조를 IR 파장의 빛을 투과하여 관찰하는 방법입니다. IR의 렌즈는 Raman 분광법과 YGA 레이저 복구 어플리케이션과 같은 근-적외선 기술을 사용하고 있습니다.
LCD, 플라스틱, 유리 물질 등의 투명한 샘플은 다양한 투과용 콘덴서를 사용하게 투과관찰 할 수 있습니다. 사용자는 명시야, 암시야, DIC, 편광 이미지 투과 관찰을 모두 한 개의 시스템에서 편리하게 사용할 수 있습니다.